21世紀(jì),，是電子信息世紀(jì),，而電子信息的發(fā)展，全靠IC芯片的發(fā)展,。

　　而IC芯片,，便是把一個電路中所需的晶體管,、電阻、電容和電感等元件及布線互連一起,，制作在一小塊或幾小塊半導(dǎo)體晶片上,，這些東西做得越小，就能排布得越多,，運算的速度也就越快,。

　　因此，IC芯片的發(fā)展,，實質(zhì)便是集成電路不斷微型化的發(fā)展,。

　　而所謂的光刻機(jī),，便是制造電腦芯片的關(guān)鍵機(jī)器，以各種波長的光源對芯片進(jìn)行光...