一位光學(xué)方面的專(zhuān)家發(fā)言道：“光源波長(zhǎng)越短,，傳播過(guò)程中越容易被透鏡吸收,。下一代0.5微米光刻機(jī),，如果依舊使用高壓汞燈當(dāng)光源,，使用現(xiàn)在的透鏡組合就足夠了，頂多加工精度再提高一些,。如果使用準(zhǔn)分子激光做光源,，透鏡系統(tǒng)就需要推倒重做，組合里至少增加兩枚玻璃透鏡,，參數(shù)也要重新設(shè)計(jì),，還有鍍膜材質(zhì)也要重新開(kāi)發(fā)。這方面研究需要盡快提上日程,，如果開(kāi)發(fā)新透鏡組合,，需要的計(jì)算量非常的大，使用普通計(jì)算機(jī)計(jì)算,，需要...