EUV光源的技術基本只掌握在花旗國 Cymer公司手中,，星光科技公司作為一家華夏公司,，基本上不可能與対方達成技術合作,，因為花旗國政府,，就不會同意。

　　EUV光刻機——頂級科學與頂級制造的結合,。

　　EUV波長只有13.5nm,，穿透物體時散射吸收強度較大，這使得光刻機的光源功率要求極高,，此外機器內部需是真空環(huán)境,，避免空氣對EUV的吸收，透鏡和反射鏡系統(tǒng)也極致精密,，配套的抗蝕劑和防...