在一九九六年之前，尼康和華晶約定好的第一批光刻機(jī)被運(yùn)抵了魔都。

　　隨同一起運(yùn)抵的,，還有尼康0.5微米光刻機(jī)的詳細(xì)工藝技術(shù),。這是中國(guó)第一次,，能夠完整的得到日本光刻機(jī)技術(shù),。

　　不僅是泛翰集團(tuán)和華晶的相關(guān)技術(shù)人員,，就連中科院微電子中心以及國(guó)內(nèi)相關(guān)的科研院所,，都齊集于魔都的機(jī)場(chǎng),。魔都虹橋機(jī)場(chǎng)甚至專門清理出了一條跑道,，以迎接即將到來的光刻機(jī)。由于光刻機(jī)是極為精密的設(shè)備,，所以其運(yùn)輸移...