光學(xué)技術(shù)研發(fā)實(shí)驗(yàn)室

　　徐華和李默這兩位負(fù)責(zé)人正在為極紫外光源技術(shù)的幾個(gè)問題進(jìn)行討論,。

　　“李博士,，雖然我們有復(fù)眼鏡頭的加持,，但是在靶材、碎屑污染也是問題?。　?p>　　徐華有些犯愁,。

　　雖然說蜂巢復(fù)眼鏡頭技術(shù)的出現(xiàn),，從某種程度上解決了極紫外光源的核心鏡片問題，但是仍舊有一些問題存在,。

　　眾所周知,，EUV極紫外光刻機(jī)最為關(guān)鍵的部件就是極紫外光源，這就不用多說了,。...