“目前的極限就是15.5nm的極紫外光波長了，再想縮小至少現(xiàn)在的時(shí)間已經(jīng)來不及了,?！?p>　　“15.5嗎,？暫時(shí)也夠了,，但是研究組這邊的工作不能停下,。

　　縱然9nm是一次巨大的突破,，但5nm才是我們最終的目標(biāo),?！?p>　　“嗯,，我去安排?！?p>　　……

　　經(jīng)過大量時(shí)間的科研攻關(guān),，極紫外光光源波長問題終于達(dá)到了預(yù)設(shè)第二目標(biāo)。

　　雖然目前還無法達(dá)到5nm光刻機(jī)的13.5n...