離期末考試還有幾天,，所以王向中準(zhǔn)備先去拜訪蕭炎教授,。

　　蕭炎也算是光學(xué)上真正的專家,，在光學(xué)領(lǐng)域內(nèi)也算是赫赫有名的一方人物,，距離泰斗級別也僅有一山之隔。

　　不過想要成為這個(gè)泰斗,，他還需要更多的研究成果,。

　　“應(yīng)該是這間辦公室吧?！蓖跸蛑惺掷锬弥T珊珊給的小紙條,，心里多少還是有些忐忑。

　　不僅是葉志華有提起過,，譚珊珊同樣還私下有過善意提醒：蕭炎教授是一個(gè)脾氣很古怪的人,，性格急躁易怒，反復(fù)無常,，需要謹(jǐn)慎對待,。

　　最好的相處方式，就是什么事都順著蕭炎教授的意思來,。

　　懷著這份沉重的心情,，王向中猶豫了再三，還是敲開了蕭炎辦公室的門,。

　　“砰砰砰”

　　“進(jìn)來?！崩锩?zhèn)鱽砹艘坏缆曇簟?p>　　王向中推門進(jìn)去,，便看到一個(gè)約莫四五十歲、身著毛氈大衣的中年男子坐在辦公桌前,，正在以一種疑惑的眼神上下打量著他,。

　　還沒等他開口，蕭炎便直接開口問道：“你是哪個(gè)專業(yè)的學(xué)生？”

　　“我是計(jì)算機(jī)科學(xué)技術(shù)的學(xué)生,，王向中,，”王向中笑道，“這次是來……”

　　還沒等他繼續(xù)說下去,，蕭炎便揮了揮手,，不耐煩地將他的話給打斷了：“你走錯(cuò)門了，我執(zhí)教的是光電學(xué),，和你們計(jì)科毫無關(guān)聯(lián),，請回吧?！?p>　　果然是脾氣急躁,，連話都不想聽完，就下逐客令了,，真是聞所未聞,。

　　“蕭教授，我真的是來找您的,?！蓖跸蛑蓄H為無奈地解釋道：“我是奉譚珊珊所托，特地來和您請教光電學(xué)上的問題,，順便把那兩個(gè)光柵給帶到華京去,。”

　　聽到這番話,，蕭炎也是愣了片刻,，旋即不可思議地看向王向中：“你就是那個(gè)王向中？”

　　“是我沒錯(cuò),?！蓖跸蛑袕?qiáng)顏歡笑著攤了攤手。

　　這倒是讓蕭炎有些猝不及防,，他倒是知道有個(gè)叫王向中的小子會(huì)來拜訪他,，但是他死都沒想到，這個(gè)叫王向中的小子竟然這么年輕,，看上去也就是剛讀大一的模樣,，所以一開始他壓根沒把兩個(gè)人想到一起。

　　他一邊想著,，臉色也是越發(fā)難看起來,。

　　“這個(gè)葉志華是在搞什么鬼！”蕭炎雙掌成拳,，懊惱地拍了一下辦公桌,，“這么小的一個(gè)后生崽子,，竟然也送去晶華，真是浪費(fèi)名額,！”

　　他可是好不容易才塞了譚珊珊一個(gè)名額進(jìn)小組的,，再看到作為課題發(fā)起人的葉志華竟然帶了一個(gè)本科一年級小鬼進(jìn)組，自然是心中不平衡起來,。

　　王向中倒是聽到了蕭教授口中所言,，但他也不敢多加辯駁，畢竟譚珊珊已經(jīng)向他囑咐過了,，千萬不要招惹后者,。

　　“蕭教授，您先別生氣,，”王向中連忙賠笑解釋道：“這次我也是有重要任務(wù)在身,，私人感情之類的東西請先拋到一邊……”

　　“我呸！”蕭炎臉色漲紅,，大聲說道：“你和葉志華到底是什么關(guān)系,，憑什么你也可以進(jìn)組？”

　　哪怕王向中是一個(gè)碩士一年級學(xué)生,，他的心態(tài)都能平衡不少,。

　　在他看來，這就是葉志華在浪費(fèi)科研資源,，畢竟他從來沒見過一個(gè)本科大一學(xué)生能做出什么科研成果來,。

　　此刻王向中臉色也有些難看，倒不是因?yàn)閷Ψ皆谫|(zhì)疑自己,，而是他實(shí)在是不知道如何和這個(gè)老教授相處,。

　　蕭炎見到王向中不吭聲了，便也是冷笑了一聲,，道：“我看你就是去打雜的,，也難怪這次會(huì)讓你你回來拿東西?！?p>　　王向中聽到這話,，便是猶如抓住了一根救命稻草一般，連忙小雞啄米似的瘋狂點(diǎn)頭道：“對對對,，我是去打雜的,，什么臟活累活都是我來干?！?p>　　他并不想和蕭炎教授在這這些沒用的問題上爭論不休,，索性就借坡下驢，迅速把這個(gè)話題給糊弄過去,。

　　聽到王向中的解釋,，蕭炎的臉色才算是緩和了不少，旋即接著問道：“小子,，你剛才說要向我請教問題,，到底是要請教什么，說來聽聽,?！?p>　　盡管他脾氣急躁易怒，但一碼歸一碼,，學(xué)術(shù)和個(gè)人感情問題還是必須區(qū)分開來的,，即使他看不順眼王向中，也必須履行作為一個(gè)老師的職責(zé),。

　　“沒什么,，我就是想了解一下二元光柵的具體原理，以及它的制作方法,?！蓖跸蛑行Φ馈?p>　　“什么,？”聽到這話,，蕭炎整個(gè)人都傻了。

　　這可是高級的光學(xué)內(nèi)容,，沒有本科光學(xué)基礎(chǔ)知識,，怎么可能聽得懂這玩意？

　　“你能聽得懂,？”他半信半疑地喃喃問道,，“小子，這可不是葉志華教的計(jì)算機(jī)原理那么基礎(chǔ)的東西,，我不相信你能聽得懂,，你還是先去看看光學(xué)基礎(chǔ)教材吧?！?p>　　“我想試試,，看看我能不能聽懂?！蓖跸蛑械挂膊煌丝s,，在學(xué)術(shù)問題上，他一直都有著自己的堅(jiān)持,。

　　看到王向中那堅(jiān)毅的表情,，蕭炎也是愣了好一會(huì)，方才意味深長地點(diǎn)了點(diǎn)頭,，道：“既然你這么堅(jiān)持,，那我就和你講講這個(gè)光柵是怎么回事吧,。”

　　二元光學(xué)的概念起源于十多年前,，率先由馬省理工學(xué)院研究小組在設(shè)計(jì)新型傳感器系統(tǒng)時(shí)提出,。一般認(rèn)為二元光學(xué)是基于光的衍射理論，利用微電子集成電路制作工藝在片基表面上刻蝕產(chǎn)生兩個(gè)或多個(gè)臺(tái)階深度的浮雕結(jié)構(gòu),，形成多相位,、同軸再現(xiàn)且具有極高衍射效率的一類衍射光學(xué)元件的光學(xué)理論技與技術(shù)。

　　二元光學(xué)元件可以說是當(dāng)前光學(xué)最新的研究的要點(diǎn),，不僅是i線光刻機(jī)可以利用該理論,，在日后的DUV、EUV光刻機(jī)上,，同樣也會(huì)使用基于該理論的菲涅爾薄待透鏡陣列,，用于改良光刻機(jī)水平。

　　二元光學(xué)的主要著眼點(diǎn)就是采用量化的方法,，將相息圖連續(xù)變化的坡面用臺(tái)階來逼近,，量化的次數(shù)越多，臺(tái)階數(shù)就越多,，也就越趨于接近連續(xù)變化的坡面,。

　　“聽懂了嗎？”蕭炎似笑非笑地盯著王向中,，“我已經(jīng)講得非常簡單了,。”

　　王向中聞言,，點(diǎn)了點(diǎn)頭,，道：“如果用更通俗的方式來講，其實(shí)就是利用光的衍射效應(yīng),，強(qiáng)行在光源固定的情況下,，增加更多的坡面，達(dá)到變相提升分辨率的辦法,?！?p>　　在光刻的曝光刻蝕這一步時(shí)，一般都是直接使用光源曝光光刻膠,，形成一個(gè)一道一道的坑道,，然后使用化學(xué)試劑將殘余的變性光刻膠洗去，然后再進(jìn)行摻雜工序,。

　　而使用光柵后,，能變相地形成更窄的坑道，也就達(dá)到了工藝提升的目標(biāo)。

　　雖然這樣做不可避免地在曝光刻蝕這一步增加了數(shù)百道工序,，但在眼下來看,，這已經(jīng)是最佳的改良方式了。

　　蕭炎見狀,，也是瞳孔一縮,，這小子不簡單,，沒想到還真是個(gè)行家,！