“光源嗎……”王向中聞言,，也是陷入了思索當(dāng)中,。

　　的確是如林堅(jiān)博士說的那般,，照明系統(tǒng),，也就是光源,，才是真正制約光刻水平發(fā)展的關(guān)鍵因素,，其它的事情都能想辦法取巧,，無論是浸潤式光刻,，亦或是衍射光柵,，它都是基于現(xiàn)有光源條件下的改良法,。

　　而高壓汞燈的365nm光波波長就決定了，它不可能制作出100nm以下制程的CPU,，具有非常嚴(yán)重的時(shí)代局限性,。

　　現(xiàn)在國際上最尖端的ArF光刻...