空間有些狹小的材料科技實(shí)驗(yàn)室里,，極光1號(hào)光刻機(jī)在無塵作業(yè)空間里，正在對(duì)一塊硅片進(jìn)行步進(jìn)式光刻,，而在硅片之上的就是涂抹得極度均勻的藍(lán)1型光刻膠,。

　　其實(shí)除了制備光刻膠，更加關(guān)鍵的一項(xiàng)技術(shù)是涂抹光刻膠用的自動(dòng)化機(jī)器,。

　　這其中用上了成功研發(fā)的全氣動(dòng)軸承和高精度電機(jī),，這是第一款完全由振藍(lán)制造出來的儀器，技術(shù)要求不高,，不過工藝要求極高,，還是李樹這個(gè)人形CNC操作數(shù)控機(jī)床搞出來的。...