晶圓廠食堂,。

　　餐桌上的氛圍十分尷尬,，首先是藍(lán)展博，總是有意無意地和王向中以及金圓圓保持著距離,，而白馬也是知道自己闖了大禍,，一改往常的話癆性格，只是在那悶頭吃著飯,。

　　葉志華倒還是和原來一般模樣,，只是偶爾吃兩口，便會(huì)抬頭看看自己幾個(gè)學(xué)生的神態(tài)和反應(yīng),，旋即又搖搖頭繼續(xù)吃飯,。

　　金圓圓則也是悶頭吃著自己的飯，一言不發(fā),，也不抬頭,，選擇做一個(gè)隱身人。

　　王向中也只能板著尷尬的臉色,，嚼著發(fā)苦的饅頭,，喝著發(fā)澀的湯，如今場面是他自己自找的,，也怪不了誰,。

　　他倒是身正不怕影子歪，只是怕兩件事,，一是發(fā)生這事對(duì)金圓圓的聲譽(yù)有所影響,，二來是自己在別人眼中的評(píng)價(jià)會(huì)降到冰點(diǎn)。

　　就拿藍(lán)展博來說,，本來他就看不慣王向中,，現(xiàn)在的話，恐怕會(huì)直接將王向中當(dāng)成一個(gè)無恥淫賊看待了,。

　　今天的早餐仍然是由牛玉鵬負(fù)責(zé)接待,，他瞧見幾個(gè)人都是一言不發(fā)的樣子,，還以為他們?nèi)匀辉跒樽蛱焱跸蛑械脑挾⒐⒂趹眩^而便是笑道：“我說王老弟啊,，年輕人行將就錯(cuò),，是可以理解的?！?p>　　“嗯？”王向中瞳孔一震,，真是沒想到這事竟然傳的這么快,，居然讓牛主任知道了，這未免有些太丟人,，于是便也神色尷尬地回應(yīng)道：“牛主任教訓(xùn)的是,。”

　　見到王向中認(rèn)錯(cuò),，牛玉鵬也不是個(gè)小家子氣人,，當(dāng)即也是豪爽表示道：“以后這種事啊，要低調(diào)著做,，不要太高調(diào),。很正常嘛，有時(shí)候不在乎別人的眼光,，也是一種勇氣的表現(xiàn)……”

　　說著說著,，飯桌上幾人的表情更是精彩起來。

　　牛玉鵬見到幾人神色怪異,，也是露出一副錯(cuò)愕的表情,，聲音也是逐漸小了起來，他有點(diǎn)不明白,，是不是自己說錯(cuò)了什么……

　　一直到了參觀晶圓廠凈室之時(shí),，氣氛才稍稍緩解下來。

　　“這里就是我們晶華的凈室了,?！迸Ｓ聩i指著不遠(yuǎn)處一棟約莫五六層高的建筑，笑著解釋道：“這里也就是生產(chǎn)晶圓的核心區(qū)域,?！?p>　　畢竟他們是來指導(dǎo)晶圓生產(chǎn)流水線的，昨天王向中和金圓圓逛的是硅片的生產(chǎn)線,，自然不屬于晶圓生產(chǎn)的范疇之內(nèi),，因此也并沒有從頭開始參觀。

　　“很奇怪啊,，如果停工一段時(shí)間,，晶圓的良品率就會(huì)有所上升,，但是在工作一段時(shí)間后，晶圓良品率就不行了,，經(jīng)常出現(xiàn)大面積晶體管損毀的現(xiàn)象,。昨天是開工的第一天，所以今天的良品率還算是可以,?！?p>　　牛玉鵬也是嘆了一口氣，繼續(xù)補(bǔ)充道：“我們懷疑可能是哪套環(huán)節(jié)出現(xiàn)了問題,，所以還請(qǐng)各位專家多多看看,，分析一下問題的原因?！?p>　　葉志華也是面色沉重地點(diǎn)了點(diǎn)頭,，他也知道，這次幾人背負(fù)的任務(wù)還是挺重的,，就連他也沒有信心,，一定能抓住問題本質(zhì)核心所在。

　　王向中一聽到這話便知道,，這問題大概率就是出在硅片生產(chǎn)線上了,。在這個(gè)年代，即使有廢氣過濾系統(tǒng),，對(duì)氯化氫分子進(jìn)行中和處理,，但依然還是會(huì)有不少氯化氫氣體逃逸而出，接著通過通風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)入凈室之內(nèi),。

　　雖然氯化氫在常溫下不與硅直接反應(yīng),，但是在PN二極管上的硼，以及金屬電路所使用的鋁,，則就沒那么幸運(yùn)了,，它們會(huì)與氯化氫共同反應(yīng)，直接破壞電路上的結(jié)構(gòu),，從而導(dǎo)致廢品率明顯增多,。

　　但除了金圓圓之外，所有人都不知道,，其實(shí)這個(gè)問題早就被王向中一眼就給破解了,，其關(guān)鍵問題根本就沒有出在內(nèi)部生產(chǎn)線中，而是外部的硅片生產(chǎn)線上,。

　　當(dāng)然王向中也不可能現(xiàn)在就把這個(gè)問題說出來,，他還需要更多的細(xì)節(jié)來驗(yàn)證自己的猜想。

　　幾人跟著牛玉鵬上了樓,，便隱約聽到前面房間里呼嘯而來的風(fēng)聲,。

　　“前面就是凈室了,，”被噪音影響，牛玉鵬的聲音也不自覺地大了幾分,，“一會(huì)咱們就要換衣服進(jìn)入凈室了,，先聲明一下，里面不能吃東西,，不能脫口罩,，不能咳嗽撓癢，以防止污染物流入生產(chǎn)線,，聽明白了沒有,？”

　　幾人聽到牛玉鵬的話，皆是點(diǎn)了點(diǎn)頭,。

　　凈室，顧名思義,，即是干凈的生產(chǎn)室,。這條5英寸的晶圓生產(chǎn)線，制程約在0.9微米左右,，普通的灰塵等顆粒污染物,，其直徑尺寸大概就是幾微米左右的樣子，一旦在生產(chǎn)線上出現(xiàn)灰塵顆粒,，極有可能直接將數(shù)張甚至數(shù)百張晶圓直接報(bào)廢,，所以需要格外謹(jǐn)慎。

　　凈室不僅在溫度,、濕度,、壓強(qiáng)等指標(biāo)方面控制相當(dāng)嚴(yán)格，就連微震動(dòng)指標(biāo),，也是它所關(guān)心的數(shù)據(jù)之一,，就拿光刻機(jī)來說，只要出現(xiàn)一點(diǎn)點(diǎn)震動(dòng),，就可能導(dǎo)致光掩模偏離,，或者光源不穩(wěn)等情況，直接報(bào)廢晶圓,。

　　這個(gè)年代都還好,，在未來納米級(jí)別的芯片時(shí)代，就連患了感冒都不被允許進(jìn)入凈室,，要知道一顆病毒的直徑大多就在一百納米左右,，只要一個(gè)不慎，一口噴嚏下去,，暫且還不提震動(dòng)的事情,，就算是這口噴嚏中的病毒,，直接的經(jīng)濟(jì)損失至少也是數(shù)十萬……

　　等到他們穿戴好防塵服，靜電鞋,，以及防塵目鏡和口罩,，在一番仔細(xì)檢查，確認(rèn)頭發(fā)等細(xì)物都未暴露在空氣中時(shí),，方才被允許進(jìn)入氣鎖室內(nèi),，進(jìn)行下一步的除塵工作。

　　晶華凈室使用的還是紊流潔凈室方案,，也就是頂層布置少量風(fēng)機(jī),，兩側(cè)開設(shè)回風(fēng)口，通過氣流壓強(qiáng)進(jìn)行氣流循環(huán),，以保證整體的潔凈度,。

　　這種紊流潔凈室的優(yōu)點(diǎn)是整體價(jià)格比較低，部署周期相對(duì)較短,，在這個(gè)年代屬于比較常見的凈室方案,。

　　在未來，層流潔凈室將會(huì)代替這種古老的方案,，通過大量風(fēng)機(jī)垂直對(duì)準(zhǔn)地板上的出風(fēng)口,，將均勻的氣流對(duì)整體形成循環(huán)，以保證最少的雜質(zhì)和異物進(jìn)入生產(chǎn)線中,。

　　“我們一般都是使用四探針法,，對(duì)硅棒進(jìn)行整體的良率測試，探測出它的軸向雜質(zhì)濃度,，以確認(rèn)該晶圓是否可以正常使用,。”

　　“一般送到這里的硅棒都已經(jīng)是初步處理過了,，已經(jīng)將硅棒初步剪裁,，大概每一段都是三十厘米左右的樣子?！?p>　　牛玉鵬指著屋內(nèi)正在不停運(yùn)轉(zhuǎn)的機(jī)器,，繼續(xù)介紹道：“這個(gè)就是內(nèi)圓切割機(jī)，用于將硅棒切割成晶圓,?！?p>　　眾人望過去，數(shù)十臺(tái)白色的機(jī)器正在其內(nèi)不斷運(yùn)轉(zhuǎn),，然后自動(dòng)打包出不少半透明的盒子,，而盒子里面，裝的就是一片一片的晶圓。

　　晶圓相對(duì)還是很重的,，而且在這個(gè)年代,，大多都是使用人工進(jìn)行晶圓運(yùn)輸工作，就比如此時(shí),，王向中就看到兩個(gè)工作人員,，正小心翼翼地將裝有晶圓的透明盒子緩緩卸下，放在小推車上,。

　　晶圓說白了,，就是一整片硅單質(zhì)，它在常溫下是高脆度的固體形態(tài),，即使是工作人員已經(jīng)足夠小心了,，但只要有一個(gè)磕碰，就可能導(dǎo)致晶圓表面出現(xiàn)肉眼不可見的裂縫,，從而使得良品率下降,。