“我不知道你們對半導(dǎo)體工藝具體了解多少，在這里我就直接來解釋了?！弊鬄槊裰钢欢淹饨缈床坏降陌咨珒x器說道：“這里做的是硅片清潔工作,。”

　　所謂光刻,，具體可以分為七個步驟,，其中包含四次處理，三次烘焙,。

　　第一步是硅片表面預(yù)處理,，首先對基底表面進(jìn)行清潔工作，使用超純水再次對基底表面進(jìn)行沖洗，徹底清除吸附在硅片表面的其它化學(xué)物質(zhì),，以及上一道工序中的殘留物和金屬離子,。

　　當(dāng)然預(yù)處理不僅是清潔，還需要使用HMDS（六甲基二硅胺烷）對整張硅片進(jìn)行熏蒸,，對它進(jìn)行一道整體的脫水工作,，將硅表面的親水羥基替換為疏水基，就像鍍了一層油膜一般,。

　　這一步也被稱為增黏處理,，以保證光刻膠能在硅片表面均勻涂布。

　　第二步就是旋轉(zhuǎn)涂膠了,，首先將硅片架在旋轉(zhuǎn)的機(jī)械結(jié)構(gòu)上,，在硅片中心滴入光刻膠，通過高速旋轉(zhuǎn),，使用離心力將光刻膠均勻攤布在硅片表面上,，可以想象成攤煎餅果子那種感覺，而這也是硅片為什么要做成圓形的根本原因,。

　　這一步的難點(diǎn)在于旋轉(zhuǎn)機(jī)械結(jié)構(gòu)上,，首先通過高速轉(zhuǎn)動徹底將光刻膠攤開，接下來再是通過低速旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定光刻膠的整體厚度,，以保證不會因?yàn)楣饪棠z太薄而在之后出現(xiàn)過度蝕刻現(xiàn)象,。

　　最后在硅片邊緣進(jìn)行溶劑噴灑，清除邊緣部分的光刻膠,，畢竟邊角料是不需要的東西,，與其做好邊角料的利用工作，不如將重心投入整體良率提升上,。

　　第三步則是前烘步驟,，使用100攝氏度的熱風(fēng)，對光刻膠進(jìn)行烘烤處理,，這一步的目的是為了蒸發(fā)光刻膠中殘留的溶劑,，提高光刻膠附著的穩(wěn)定性。

　　當(dāng)光刻膠均勻分布且通過驗(yàn)證后,，便送往真正的光刻機(jī)中,，進(jìn)行第四個步驟——對準(zhǔn)與曝光。

　　光刻機(jī)整體由三部分組成,，即是光源,、透鏡組以及硅片工作臺。

　　首先將硅片送入工作臺中,，進(jìn)行對準(zhǔn)和調(diào)平工作,，以確保硅片分毫不差地與透鏡組保持焦距和相對位置。

　　接下來是曝光工作，這個年代光刻機(jī)普遍還在使用I類光源,，即短弧超高壓汞燈,。I類光源的發(fā)光原理很簡單：汞蒸氣內(nèi)電弧放電，汞原子最外層電子受到激發(fā)從而躍遷,，落回后放出光子,，其光源波長大約在436nm左右。

　　使用這種光對光刻膠表面進(jìn)行處理后,，部分光刻膠將會因?yàn)楣庹斩淖兓瘜W(xué)性質(zhì),，方便后續(xù)步驟進(jìn)行處理。

　　但在處理之前,，還需要通過第五道工序,，后燒。

　　將硅片進(jìn)行加熱,，讓光化學(xué)膠中的光反應(yīng)充分完成,，以彌補(bǔ)曝光強(qiáng)度不足的問題，同時還能減少顯影后因回駐波效應(yīng)所帶來的紋路現(xiàn)象,。

　　接下來便是第六個步驟,，顯影和清洗。

　　使用超純水浸潤硅片,，將顯影液,，也就是四甲基氫氧化銨均勻噴灑在光刻膠表面，讓曝光部分充分溶解,，最后使用超純水沖洗光刻膠,，留下與光掩模設(shè)計一致的坑道。

　　第七步則是沉積,，按照順序在硅片表面不同部分沉積雜質(zhì),，層層刻蝕堆疊，在一張硅片上創(chuàng)造出數(shù)十億記個PN二極管,。

　　當(dāng)然這并不算完,，一張光掩模想要完整造出芯片雛形無疑是癡人說夢,，為了保證工業(yè)效率,，在這三步需要至少數(shù)臺光刻機(jī)循環(huán)反復(fù)進(jìn)行數(shù)千次曝光，一張5英寸的硅片才能初步產(chǎn)出兩百到三百張左右的芯片雛形,。

　　這些芯片雛形還要進(jìn)行測量檢查,，使用顯微鏡，乃至是電子顯微鏡進(jìn)行初步檢查,，例如它的光刻膠膜厚,，套刻精度，以及其它關(guān)鍵尺寸等。

　　另外還要通給它通電,，進(jìn)行最終檢查,，確認(rèn)芯片是否能夠正常工作。

　　就算是在這個年代,，一張芯片上也至少有數(shù)千萬晶體管,，要說它一個都不會壞，那是不可能的,。在IC設(shè)計之初,，往往早就對晶體管電路做過冗余設(shè)計，也就是壞個10%左右一般影響不大,，實(shí)在不行就屏蔽掉一些區(qū)域,。

　　屏蔽區(qū)域比較多的區(qū)域，就是次品,，但它也能正常工作,，屏蔽區(qū)域較少或者完全沒有屏蔽的芯片則是良品，則賣價較貴,。

　　無良奸商們?yōu)榱俗畲蠡麧?，于是便想出了一套妙招，將市場上的芯片進(jìn)行分級,。就拿英廠來說,，次品芯片制成i3級別，一般一點(diǎn)的制成i5級別,，而良品們,，則通通是i7……

　　當(dāng)然，這部分屬于是封裝上的問題了,，而封裝工藝相對比較成熟,，也不在葉志華團(tuán)隊所考察的范圍之內(nèi)。

　　光刻室內(nèi)的所有設(shè)備和化學(xué)試劑全部依賴于進(jìn)口,，完全繼承于德意志東門子公司,，在詳細(xì)的觀察中，葉志華和王向中均沒有發(fā)現(xiàn)有什么明顯的問題存在,。

　　這也就表明生產(chǎn)線的問題真的存在于凈室之外的硅片制造環(huán)節(jié)污染物上,。

　　但令王向中疑惑的是，這么明顯的問題,，為什么遲遲都沒有人發(fā)現(xiàn)呢,？按道理來講，就拿眼前的左為民來說,，他不可能不知道氯化氫揮發(fā)物這種空氣污染對生產(chǎn)線的影響,。

　　可是他為什么對此事視若無睹呢,？

　　在幾人離開凈室后，還未等脫下防塵服,，王向中立馬走上前,，對左為民說道：“左廠長，我想詳細(xì)了解一下近期這條生產(chǎn)線的試產(chǎn)數(shù)據(jù),?！?p>　　此時左為民還未摘下口罩，他用那雙眼睛輕輕掃了一眼年輕的王向中,，一句話直接道出口：“看數(shù)據(jù),？你以為你是誰？”

　　換衣區(qū)域,，所有人都被這句話驚到了,，紛紛側(cè)目朝此處看了過來，尤其是葉志華,，臉上的表情如若一層寒霜浮現(xiàn),，很顯然，他也對這個所謂左廠長的態(tài)度有所不滿,。

　　“我是水木大學(xué)專家組的王向中,。”王向中并沒有因?yàn)樽鬄槊竦膽B(tài)度而動容,，反倒是繼續(xù)不卑不亢地說道,。

　　“專家？”左為民慘然一笑,，揭開口罩,，露出了其下略顯蒼白的皮膚，深邃的眼窩和內(nèi)曲的鷹鉤鼻,。

　　“高中生專家嗎,？有意思?！弊鬄槊竦纳聿谋韧跸蛑幸叽蟛簧?，因此也是有些居高臨下地對望著。

　　“請你對我的學(xué)生放尊重點(diǎn),！”

　　葉志華突然大聲呵斥道,，使得在場的所有人的心房微微一跳，“我們是集團(tuán)董事長邀請來的專家團(tuán)隊,，無論如何,，請你一定要予以我的學(xué)生們足夠的尊重,！”

　　盡管王向中在這幾天表現(xiàn)不太好,，但在葉志華眼中,，學(xué)術(shù)和人品無關(guān)，他相信王向中一定是個天才人物,，因而眼下必須護(hù)犢子,，即使這會把這次課題給搞砸。

　　“氣勢不錯,，就是不知道你的水平如何,。”左為民冷哼一聲,，雙手負(fù)在背后,，僅僅是輕輕掃了葉志華一眼，便仰面看起別處來,，濃濃的不屑之意赫然印在臉上,。

　　眼看幾人就要吵起來，牛玉鵬也是臉色大變,，慌忙插入幾人的對話中：“左廠長,，葉教授，你們可別吵了,，大家都是深耕行業(yè)的專家級別人物,，都給點(diǎn)面子行不行……”

　　“好啊，”左為民唇角勾起一抹詭異的弧度,，當(dāng)即也是冷笑一聲,，道：“既然你們這么想看數(shù)據(jù)，那就隨我來檔案室吧,?！?