“咱們真的要把光刻機(jī)給拆開,？”

　　凈室內(nèi),，白馬的雙手都在忍不住顫抖。

　　這玩意一臺(tái)價(jià)值千萬(wàn),，全華夏都只有那么屈指可數(shù)的幾臺(tái),，不得不說王向中是真的會(huì)玩。

　　“不拆怎么行,，不拆,，怎么學(xué)習(xí)人家的先進(jìn)技術(shù)？”王向中笑道,，手上那可是一刻都沒閑著,。

　　此時(shí)的他正帶領(lǐng)著幾個(gè)研究生，拿著螺絲刀和扳手,，正在一絲不茍地拆卸著眼前的康尼光刻機(jī),。

　　盡管李東對(duì)此事表示萬(wàn)分反對(duì)，但在王向中的威逼利誘之下,，他也不得不接受這一切,，畢竟條件太誘人了——免費(fèi)的工藝提升，又有誰(shuí)能拒絕這個(gè)條件呢,？

　　但一下子要讓廠里損失五分之一的產(chǎn)能,，每個(gè)月?lián)p失高達(dá)數(shù)百萬(wàn)，這也讓李東心痛不已,，但是一想想晶華的未來(lái),，他最終還是忍了下來(lái)。

　　將防震裝置卸下,，撬開光刻機(jī)上的鋼制蓋子，其中的透鏡組以及工作臺(tái)便露出了水面,。

　　“我們現(xiàn)在不著急把透鏡組拆開,，我們先通過廠里留存的數(shù)據(jù)和物鏡組的物理結(jié)構(gòu)，畫一個(gè)模型,，測(cè)算一下理論數(shù)據(jù),。”

　　王向中指著透鏡組說道,。這款尼康NSR-1010g的透鏡組高約1.2米,，直徑約在10-20厘米范圍之間，與后世出現(xiàn)的DUV光刻機(jī)鏡頭不同,，它整體呈現(xiàn)一個(gè)兩頭細(xì),、中間粗的樣式。

　　這是一組典型的遠(yuǎn)心鏡頭設(shè)計(jì)，遠(yuǎn)心鏡頭設(shè)計(jì)的好處就是它可以在一定的物距范圍內(nèi),，使得到的圖像放大倍率不會(huì)變化,，這對(duì)被投影物不在同一物面上的情況是非常重要的應(yīng)用。

　　透鏡組中含有17塊直徑大小,、球面曲率皆是有所不同的凸透鏡和凹透鏡,，其中部分球面鏡可以使用位置調(diào)節(jié)功能，用于調(diào)整透鏡的散射和誤差,。

　　因?yàn)樵诠饪踢^程中,，當(dāng)激光通過透鏡組時(shí)，透鏡本身還會(huì)吸收激光本身的部分能量,，導(dǎo)致透鏡受熱膨脹,，最終使其密度發(fā)生變化，折射率改變,。

　　因此在這根透鏡組管上,，還有不少預(yù)留于通風(fēng)的管道和加熱裝置，用于給鏡片散熱和加熱,，讓焦深保持穩(wěn)定狀態(tài),。

　　正當(dāng)王向中解釋著鏡頭時(shí)，不少研究生已經(jīng)開始用卷尺和游標(biāo)卡尺測(cè)量記錄參數(shù),、模擬畫圖了,。

　　他給在坐的研究生們?cè)敿?xì)介紹了一番光刻機(jī)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和原理，幾乎是如同信手拈來(lái)一般流暢,，瞬間也是扳回了不少印象,。

　　原本他們還以為王向中只是個(gè)憑借背景，不學(xué)無(wú)術(shù)的小屁孩,，沒想到在理論研究上造詣竟然如此之高,，因此眾人自然是會(huì)對(duì)他高看幾分。

　　現(xiàn)在看來(lái),，把劉兵這種人物趕走顯然也是有他自己的道理,。

　　“說了這么多，但畢竟我不是光學(xué)和材料學(xué)的專業(yè)人員,，有些事情還得靠你們,。我們拿不到康尼公司給到的具體數(shù)據(jù)，因此只能是自己動(dòng)手驗(yàn)證,?！蓖跸蛑袊@了一口氣道。

　　但是研究生們似乎壓根不理會(huì)王向中的言論,，只是近距離地觀摩研究著這美輪美奐的精致設(shè)計(jì),，還不時(shí)發(fā)出贊嘆之聲,。

　　“這些鏡頭的材料都是高透光晶體，據(jù)我推測(cè),，康尼的物鏡大概使用的是特殊合成石英,，這種材料的透光率極高，國(guó)內(nèi)暫時(shí)還搞不到,?！?p>　　“目前來(lái)講，有兩種方案,，第一種是加鏡片,，通過在狹小的空間內(nèi)加入更多的鏡片，從物理層面提升它的數(shù)值孔徑,；第二種是改裝投影物鏡的其他裝置,，通過技術(shù)層面來(lái)增加數(shù)值孔徑?！?p>　　“受專業(yè)限制,，我不知道哪種方法更現(xiàn)實(shí)，所以還要請(qǐng)各位師兄結(jié)合實(shí)際,，驗(yàn)證一下這兩項(xiàng)方案的可行性,。”王向中補(bǔ)充道,。

　　對(duì)于大數(shù)值孔徑光刻投影物鏡來(lái)說,，除了完善的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案外，關(guān)鍵在于光學(xué)加工,、裝校,、調(diào)整以及相關(guān)的測(cè)試。投影光刻物鏡鏡頭裝配的最終目標(biāo)是嚴(yán)格按照理論設(shè)計(jì)的要求保證鏡頭中每個(gè)鏡片的相對(duì)空間位置精度,，其中最主要的是沿光軸方向的空氣間隔和相鄰鏡片之間的偏心誤差,，對(duì)光學(xué)元件的空氣間隔和偏心誤差的檢測(cè)精度往往在1/5到1/10微米之間。

　　“我認(rèn)為第二種方法更可行,?！贝藭r(shí)，一個(gè)青年男子從人群中站起身來(lái),，“我是江超，和劉兵一樣,，都是物理系吳光教授手下的博士研究生,，目前正在讀博一，他是我的師兄,?！?p>　　“第一種方案顯然不太可行,，康尼這款光刻機(jī)的整體鋼骨架是固定的，加入更多的鏡片就意味著相應(yīng)的透鏡組整體長(zhǎng)度也要增加不少,，要想把數(shù)值孔徑提高到0.5,，需要至少25片透鏡，這個(gè)不太現(xiàn)實(shí),?！?p>　　“雖然設(shè)計(jì)上的難度其實(shí)不是特別大，從雙高斯入手,，一段段分裂透鏡,，改進(jìn)足夠久后總可能得到一個(gè)不錯(cuò)的結(jié)構(gòu)形式?！?p>　　“但在投影光刻物鏡鏡頭裝配的過程中,，子鏡筒裝配、鏡筒級(jí)聯(lián)裝配,、鏡片偏心和空氣間隔的檢測(cè)以及單個(gè)鏡片的位置調(diào)整等步驟是一個(gè)反復(fù)迭代進(jìn)行的過程,。并且鏡片的空間位置檢測(cè)以及單個(gè)鏡片的位置調(diào)整具有相當(dāng)高的實(shí)時(shí)性要求?！?p>　　“最重要的一點(diǎn),，”江超深深地嘆了一口氣，愁容滿面道：“我們搞不到鏡片,?！?p>　　眾人聽到江超的一番話，皆是陷入了沉思之中,。

　　的確如江超所言,，光刻機(jī)鏡頭的最大難度不在設(shè)計(jì)，而在于工藝實(shí)現(xiàn)這一步,，不僅是材料很難搞,，合成石英需要降應(yīng)力、提純度,、去氣泡條紋,，還有超高面型精度的鏡片加工，打磨,、測(cè)量,、裝配等等工作都?jí)蛩麄円蝗喝顺砸粔亓恕?p>　　所以應(yīng)用現(xiàn)有的鏡頭結(jié)構(gòu)，通過部分技術(shù)參數(shù)的調(diào)整,，同樣也可以實(shí)現(xiàn)數(shù)值孔徑提高的要求,。

　　“我有一個(gè)大膽的想法，斗膽一說,，還請(qǐng)大家多多分辨分辨,?！苯{(diào)整了一下護(hù)目鏡，“我們可以嘗試在照明上多做一些功夫,，比如采用離軸照明,，例如四極照明法，環(huán)形照明法或者是傾斜照明法,?！?p>　　“當(dāng)然鏡頭上也要有改進(jìn)，通過對(duì)溫度,、氣壓補(bǔ)償來(lái)實(shí)現(xiàn)倍率補(bǔ)償,，從而改善線寬質(zhì)量和提高分辨率！”