從信息光學(xué)的觀點(diǎn)出發(fā)，掩模圖形在經(jīng)過投影系統(tǒng)成像時(shí),，由于數(shù)值孔徑大小有限,，高頻部分不進(jìn)入光瞳,，它們對圖像成像沒有什么作用,，導(dǎo)致對比度降低,，影響成像質(zhì)量,。

　　為了改進(jìn)成像質(zhì)量,，提高光刻分辨率,，可以通過降低低頻成份來調(diào)制高頻,，從而使成像質(zhì)量得到改進(jìn)，改變照明可以達(dá)到此目的,。

　　通常情況下,，改變光源形狀，減少低頻信號,，也就是采用其它的照明模式,，就可以提高圖像的對比度。這種方式相對成本非常低,，比起直接尋找虛無縹緲的鏡片而言更易于實(shí)現(xiàn),，更符合現(xiàn)在晶華的現(xiàn)狀,。

　　“江師兄，四極照明和環(huán)形照明可以提高實(shí)際分辨率,，增大焦深,，但是也存在致命的缺點(diǎn)?！蓖跸蛑邢肓艘粫?huì),，說道。

　　雖然他對光學(xué)原理涉獵比較淺,，但是他的腦子已經(jīng)將后世的不少論文和發(fā)現(xiàn)給深深地印刻在了腦子里面,。

　　“為什么？”江超愣了愣,，旋即才反應(yīng)過來,，沒想到王向中竟然還懂微細(xì)加工光學(xué)，著實(shí)也是暗中吃了一驚,。

　　“我也是在看報(bào)紙時(shí)偶然間掃到的,，”王向中笑了笑，“這兩種方法的能量利用率至少要損失一半以上,，曝光時(shí)間也相對比較長,，在實(shí)驗(yàn)室里用一用還行，如果放到實(shí)際生產(chǎn)中,，恐怕生產(chǎn)效率要降低不少,。”

　　江超在聽到王向中的話后,，便是低頭托腮,，陷入了苦苦沉思之中。

　　傳統(tǒng)的離軸照明法通常采用四極或環(huán)形相干片來實(shí)現(xiàn),，對整體的情況的確有些許影響,，光線的遮蓋影響了整體能量等級，直接的后果就是曝光時(shí)間變長,。

　　“我倒是聽說過這些說法,，”一旁另一個(gè)女生突然開口道，“在相干度較小的時(shí)候,，由于光波的干涉作用,，在焦面附近的光強(qiáng)曲線中出現(xiàn)了光強(qiáng)的極小值，這是引起鄰近效應(yīng)的重要原因之一,?！?p>　　“如果采用新的離軸照明手段，比如二元光柵照明，可以顯著提高光強(qiáng)的對比度,，改善成像系統(tǒng)的頻率傳遞函數(shù),，可以在一定程度上消除鄰近效應(yīng)?！迸?。

　　這話講的江超一愣一愣的，真是人外有人,，天外有天,，這一支小隊(duì)內(nèi)果然是藏龍臥虎，即使是如此專業(yè)的知識點(diǎn)也難不倒他人,。

　　“厲害厲害，不知道師妹師從哪位名師,？”江超笑道,。和劉兵不同，他為人比較隨和,，也沒有什么鋒芒和架子,，對于什么權(quán)力、虛名都比較淡泊,，只言片語之間都讓人如沐春風(fēng),。

　　“師兄過譽(yù)了，”女孩回復(fù)道,，即便此時(shí)她戴著護(hù)目鏡和口罩,，但也不難看出她的臉已經(jīng)紅到了脖子根，“我只是光電工程專業(yè)蕭炎教授手下的一個(gè)普通研二學(xué)生,，只不過主攻方向是微細(xì)加工光學(xué)罷了,。對了，忘了自我介紹,，我叫譚珊珊,。”

　　“原來是譚師妹,，”江超點(diǎn)了點(diǎn)頭,，繼續(xù)說道：“你可以講講二級光柵照明法的具體優(yōu)勢嗎？”

　　譚珊珊聽言,，便是在低頭整理了片刻思緒,，隨后說道：“如果是通過電磁理論來分析的話……”

　　她的理論井井有條，在專業(yè)性上也是毋庸置疑,，不過作為外專業(yè)的其他人,，包括王向中在內(nèi)，都是聽得一愣一愣的，很多東西都聽不太懂,。

　　但是具體總結(jié)一下主要有四點(diǎn),，二元光柵照明對光能利用率、照明均勻性,、分辨率和焦深,、光強(qiáng)分布都有著不同的影響。

　　“當(dāng)然這些都是恩師的研究成果,，我只是學(xué)到了一點(diǎn)皮毛罷了,，”江珊珊顯得有些不好意思，“我們進(jìn)行過模擬初步測算,，二元光柵照明法理論上能將1.0微米的分辨率提高到0.55微米,，相比四級照明和環(huán)形照明的60秒曝光時(shí)間，二元光柵照明只需要20秒的曝光時(shí)間,，效率提升足足翻了三番,。”譚珊珊道,。

　　“竟然有這么多,。”

　　“這蕭炎教授真是個(gè)天才,！”

　　不少研究生都是紛紛驚嘆道,，尤其是物理光學(xué)方向的同學(xué)們，此時(shí)更是大受啟發(fā),，皆是陷入了沉思之中,。

　　“不知道這種光柵制作成本和工藝高不高？”江超突然發(fā)問道,。

　　這一問題倒是讓不少人面色一怔,，的確，現(xiàn)在他們的資金和工藝技術(shù)才是大問題,，要是制作成本太高的話,，即使這個(gè)方案再好，也不得不舍棄掉,。

　　“江師兄不必?fù)?dān)心這個(gè)問題,，”譚珊珊嫣然一笑，道：“之前恩師已經(jīng)制作了兩塊樣品,，現(xiàn)在就放在水木大學(xué)光研所里,，我可以聯(lián)系恩師，想辦法把東西從華京托運(yùn)過來,?！?p>　　“至于成本嘛，光柵的材料基質(zhì)是高純度玻璃，這種基質(zhì)比較有利于光的透射,，減少光的反射和吸收,，制作成本不高，我也可以讓恩師想辦法多弄幾塊樣品,，他一定會(huì)很樂意的,。”

　　在譚珊珊看來,，蕭炎教授目前正苦于沒有實(shí)際設(shè)備用于驗(yàn)證理論,，有這種好事他當(dāng)然會(huì)十分樂意，區(qū)區(qū)幾塊玻璃對他來說根本就不算什么,。

　　有了實(shí)際數(shù)據(jù)的支撐,，恩師這兩年一直在些寫的這篇論文也終于可以了結(jié)了！

　　“那這事就只能拜托蕭炎教授了,?！苯c(diǎn)了點(diǎn)頭，“那溫度氣壓控制補(bǔ)償這事可能要拜托材料工程學(xué)的師兄弟們了,。”

　　溫度和氣壓變化會(huì)使光學(xué)和金屬材料膨脹收縮,，從而改變透鏡的厚度,、空氣間隔、光學(xué)材料的折射率和空氣折射率,。

　　一般來講,，空氣折射率是1，但對于光刻物鏡而言,，必須考慮它隨溫度等諸多條件的變化,。

　　在理論上而言，當(dāng)波長和濕度不變時(shí),，溫度變化1K（K,，開爾文，一種溫度單位,，1K=272.15）,，氣壓提高2.0kPa時(shí)，空氣折射率將變化5*10^-4以上,，它會(huì)引起物鏡的焦點(diǎn)飄移,、倍率的變化、畸變變化,，甚至影響成像質(zhì)量,，所以一般這種技術(shù)都是應(yīng)用于補(bǔ)償工藝。

　　但是反過來，可以利用這個(gè)工藝,，空氣折射率一旦發(fā)生變化,，就如同一塊透鏡一般，同樣可以給透鏡組本身帶來正面影響,，解決倍率控制問題,，以改善最終的像質(zhì)。

　　“江師弟放心,，”一個(gè)青年男子站了出來,，“我是林動(dòng)教授手下的學(xué)生，現(xiàn)在正在讀博二,，我的名字叫杜曉風(fēng),，如果江師弟想要研究透鏡材料氣壓承受極限，來找我準(zhǔn)沒錯(cuò),！”

　　他一邊說著,，一邊將胸脯拍得啪啪作響，也引來了一旁不少研究生的哄笑聲,。

　　看著眼前的師兄師姐們討論著對于鏡頭改良的可能性,，王向中也是露出了一抹欣慰的笑容。

　　說實(shí)話,，作為計(jì)算機(jī)科學(xué)博士,，他在其它學(xué)科上的能力實(shí)在是有限，只能是依靠其它人的力量來完成更深層次的研究,。

　　旋即他又不著痕跡地嘆了一口氣,，說白了還是沒錢！水木同方給的一百二十萬元資金看起來很多,，實(shí)際上也就僅僅能支撐一些理論研究工作上的開銷和生活開銷,，要想真的把這一套復(fù)雜的系統(tǒng)給造出來，還是有不小的財(cái)政赤字,。

　　要是有足夠的錢,，又怎么還需要對什么霓虹國的破光刻機(jī)進(jìn)行改造？有這么多人才,，直接就可以原地造一臺(tái)國產(chǎn)光刻機(jī)了,！

　　一想到這里，王向中也是不禁握緊了拳頭,，等到這邊的事情告一段落,，一定要好好把上網(wǎng)小助手給經(jīng)營起來，有錢,，才是發(fā)展的硬道理,！